Prozessleitsysteme für die Herstellung von Halbleitern
Die Elektronikindustrie wird immer anspruchsvoller. Damit steigen auch die Anforderungen an Halbleiter bezüglich der Leistungsdichte, Effizienz und Zuverlässigkeit. Um Halbleiter zu oxidieren und zu tempern oder die Eindiffusion von Dotierstoffen zu fördern, kommen in der Halbleiterindustrie zahlreiche thermische Prozesse zur Anwendung. Diese müssen sicher, genau und unterbrechungsfrei ablaufen, um die gewünschte Produktqualität zu erzielen. Hierzu bedarf es einer umfassenden Inprozesskontrolle in den Industrieöfen, die ohne Automatisierung kaum noch möglich ist.
Wir bieten Unternehmen aus der Halbleiterbranche netzwerkfähige Regler, die sich sowohl mit I/O-Karten als auch mit externen Modulen erweitern lassen und mit allen erforderlichen Schnittstellen für eine nahtlose Integration ausgestattet sind. Mit unseren Produkten erfüllen wir alle relevanten Normen wie die ISO 9001 oder die IATF 16949.
Lückenlose Inprozesskontrolle dank Automatisierung und redundanter Systeme
Um eine durchgängige Inprozesskontrolle zu ermöglichen und Unterbrechungen zu vermeiden, werden Fertigungsanlagen im Rahmen der Automatisierung oftmals mit redundanten Reglern ausgestattet. Diese überwachen sich gegenseitig und informieren bei einem Ausfall je nach Sicherheitsstufe die Betriebsleitung, die Instandhaltung oder sogar die Werksfeuerwehr. Auf diese Weise lässt sich das Problem meist beheben, ohne dass Folgeschäden auftreten.
